目前國內(nèi)外精密位移平臺(tái)的研究與產(chǎn)品現(xiàn)狀

添加時(shí)間：2016-6-30 8:02:55 作者：浙江金科機(jī)械傳動(dòng)有限公司

目前國內(nèi)外精密位移平臺(tái)（http://tushumi.cn）的研究與產(chǎn)品現(xiàn)狀.
目前所研制的精密位移平臺(tái)（http://tushumi.cn）主要集中在一維，二維和三維，所用驅(qū)動(dòng)器集中在壓電陶瓷和磁致伸縮材料驅(qū)，柔性鉸鏈作為彈性機(jī)構(gòu)在執(zhí)行器中得到了廣泛的應(yīng)用，而控制算法的優(yōu)化也得到了足夠的重視并取得不小的進(jìn)展，以此進(jìn)一步提高定位分辨力和重復(fù)定位精度。但目前壓電型微定位機(jī)構(gòu)仍存在以下幾個(gè)關(guān)鍵問題亟待解決：
（1）運(yùn)動(dòng)方向間的交叉耦合問題。
（2）壓電、電致伸縮微位移器存在的蠕變和滯后現(xiàn)象影響定位精度，通過選擇合適的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器安裝方式以及采取一定的驅(qū)動(dòng)器建模和控制方法可減少這些缺點(diǎn)帶來的不利影響，提高定位精度。